紫外臭氧分析仪依据朗伯—比尔定律，通过测量臭氧对紫外光吸收前后的光信号强度变化，由此计算出当前臭氧浓度值。主要用于连续检测各种工业环境下的臭氧气体，也可用于检测运行中的管道、容器等环境的臭氧气体。广泛应用于化工、市政、污水处理等行业，对臭氧发生器出口浓度和臭氧发生器产量测量。
臭氧分析仪主要应用于臭氧制备车间、化工、造纸和香精香料工业、水处理、食品灭菌车间等场合 。这里对臭氧分析仪的四种检测原理进行了阐述，并且对其适用场合进行了简单的说明。
紫外臭氧检测仪利用了紫外线吸收法为原理，紫外线吸收法是现在物理方法分析臭氧的方法。它是利用臭氧对254nm波长的紫外线特征吸收的特性，只要选择合适长度的吸收池，就可以检测0.002mg/m3至5%(vol)浓度的臭氧。其线形在4~5个数量级内都很好，该法已被我国作为环境空气中测定臭氧的标准方法(GB1/T1154348)。紫外线吸收法不但适用于检测气体中臭氧浓度，也可以检测水中溶解的臭氧浓度。
应用
·在偏僻的地方进行长期监测，那里电力受到高度限制；
·城市地面基站探测；
·电器工厂（如：臭氧箱，臭氧消毒柜，臭氧试验设备，臭氧发生器等）实验测试；
·洁净区臭氧灭菌（如：化妆品，食品工厂洁净室，半导体洁净室）；监测臭氧浓度；
·为研究空气污染对健康影响而做的个人暴露监测；
·在时间变化快的飞行航程上。
